特許

J-GLOBAL ID：200903055518718155

サーマルインクジェットヘッド

発明者： 森田 直己 ,  藤村 義彦 ,  藤井 雅彦
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269899
公開番号（公開出願番号）：特開平7-101059
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】 ゴミの捕捉性を保ちつつ、流路抵抗を低下させ、高速かつ安定噴射を行なうことのできるサーマルインクジェットヘッドを提供する。【構成】 Siからなるヒーターウェハ10には、複数の発熱体1が形成され、その上に、ポリイミド層9が形成される。ポリイミド層9には、発熱体1の上部からインク流路6と連結するように延在したピット2と、共通スリット3、及び、バイパスピット4が形成される。一方、Siからなるチャネルウェハ10には、ノズル流路5と、インク流路6、インクリザーバ7がODEで形成される。気泡発生時には、ノズル流路5とインク流路6の間の未エッチング部11のノズル流路5側の壁面が気泡の圧力を反射し、エネルギーが効率よく使用される。気泡消滅時には、ピット2の延在部分からインクが平行移動により再充填される。そのため、流路抵抗が小さく、高速な駆動が可能となる。

請求項（抜粋）：

バブル発生用抵抗体を有するヒーター基板と、複数のノズル流路、インクリザーバ、インク供給口を有するチャネル基板とからなるサーマルインクジェットヘッドにおいて、前記チャネル基板には複数のノズル流路とインクリザーバとの間に複数のインク流路を設け、また、前記ヒーター基板上にポリイミド層を設け、該ポリイミド層には、少なくとも、前記バブル発生用抵抗体の上部から前記チャネル基板に形成された前記インク流路に連結するまで延在する溝が設けられていることを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。