特許

J-GLOBAL ID：200903055533641800

プリズム保持装置及び投影露光装置

発明者： 池田 正俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318655
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142485
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 プリズムの自重による変形を防止して、プリズムの光学性能を向上させるようにする。【解決手段】 プリズムM2を当接させて保持する平行平板42と、平行平板42と所定間隔隔てて対向配置された平行平板44と、平行平板42及び44を支持するとともに、それらの外周を覆うプリズム枠46とにより、内部に密閉された空気室48が形成されている。この空気室48内部の空気圧は、空気継ぎ手62を介して空気室48と外気との間で空気を流入・流出させて調整される。プリズムM2及び平行平板42が自重(重力)により下方向にたわんでも、空気室48内の空気圧を上げるように調整することによって、重力の影響がキャンセルされ、良好な光学性能が得られる。

請求項（抜粋）：

平行でない平面を2つ以上持つ透明体から成るプリズムを保持する投影光学系用のプリズム保持装置であって、前記プリズムをその重力方向の一端面に当接した状態で保持する内部圧力が所定圧力に調整された密閉室を備え、前記密閉室の前記プリズムが当接する前記重力方向の一端面が平面であることを特徴とするプリズム保持装置。

IPC (3件)：

G02B 7/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 7/18 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 518