柔軟なナノインプリントスタンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：三好秀和 , 伊藤正和 , 原裕子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-530583
公開番号（公開出願番号）：特表2008-512274
出願日： 2005年09月07日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

本発明は、ナノメートルサイズからミリメートルサイズの構造をインプリントするナノインプリントスタンプに関し、そのスタンプ(1)は、基部と第1および第2のインプリント部分(2、3)とを有しており、第1および第2のインプリント部分は、受け基板内にインプリントするためのリソグラフィパターン(7)を有している。第1の態様において、第1および第2のインプリント部分(2、3)は、インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、独立して変位可能である。第2の態様において、第1および第2のインプリント部分(2、3)は、インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、機械的に弱く結合されている。このスタンプは、スタンプの曲げをインプリント部分(2、3)の間の基部(5)に局所化することによって、リソグラフィパターン(7)でインプリントされる基板内またはその基板上の不完全部およびスタンプ内またはスタンプ上の不完全部、ならびにそのような不完全部の任意の組み合わせによる影響を制限する。

請求項（抜粋）：

基部と第1および第2のインプリント部分とを備えるナノインプリントスタンプであって、前記第1および前記第2のインプリント部分が、前記インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、独立して変位可能である、ナノインプリントスタンプ。

IPC (3件)：

B29C 59/02 , B82B 1/00 , H01L 21/027

FI (3件)：

B29C59/02 Z , B82B1/00 , H01L21/30 502D

Fターム (12件)：

4F209AA21 , 4F209AD08 , 4F209AJ06 , 4F209AR07 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PN13 , 4F209PQ11 , 5F046BA10

前のページに戻る