特許
J-GLOBAL ID：200903055540867245
載置台の温度制御装置及び載置台の温度制御方法及び処理装置及び載置台温度制御プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-101767
公開番号（公開出願番号）：特開2006-286733
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 比較的小規模かつ簡易な構成でもって載置台の温度ないし温度分布を多種多様または高精度に制御し、さらには載置台の高速昇降温を可能とすること。【解決手段】 この載置台温度制御装置は、載置台12内部の冷媒通路、チラーユニット14、加熱ユニット16、流路切換ユニット18、配管類(26,28,30,32,58,60等)およびコントローラ20を有している。コントローラ20の制御により加熱ユニット16における加熱動作のオン・オフ状態と流路切換ユニット18における開閉弁62,64,66,68のオン・オフ状態とを組み合わせることで、載置台12に対する温度制御について多種類のモードが得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被処理体を載置する載置台の温度を制御するための載置台温度制御装置であって、
前記載置台に設けられたそれぞれ個別の入口および出口を有する第1および第2の冷媒通路と、
前記第1および第2の冷媒通路に冷媒を循環供給するために、前記第1の冷媒流路の入口に第1の流路を介して接続された送出口と、前記第2の冷媒流路の出口に第2の流路を介して接続された帰還口とを有し、前記帰還口に帰還した冷媒を基準温度に戻して前記送出口より送出する冷媒循環器と、
前記第1の流路の途中で冷媒の温度を前記基準温度から所望の設定温度まで上昇または降下させる冷媒温度制御部と、
前記第1の冷媒通路の出口に第3の流路を介して接続された第1のポートと、前記第1の流路の前記冷媒温度制御部よりも上流側に設けられた第1の流路分岐点に第4の流路を介して接続された第2のポートと、前記第2の冷媒通路の入口に第5の流路を介して接続された第3のポートと、前記第2の流路に設けられた第2の流路分岐点に第6の流路を介して接続された第4のポートとを有し、前記第1、第2、第3および第4のポートとの間で流路の導通、遮断および変更の可能な流路切換部と、
前記流路切換部内の前記流路の導通、遮断または変更を制御する流路制御部と
を有する載置台温度制御装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, H01L 21/683
H01L21/302 101G
, H01L21/68 R
5F004BA04
, 5F004BB22
, 5F004BB25
, 5F004BB26
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA16
, 5F031HA37
, 5F031HA38
, 5F031HA40
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031PA30
