特許

J-GLOBAL ID：200903055549871458

研磨用組成物及び研磨方法

発明者： 吉井 茂晴 ,  小林 亮 ,  清水 博昭
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083702
公開番号（公開出願番号）：特開平11-228939
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 研磨速度が大で、研磨品質も良く、研磨材料の分散安定性に優れた研磨用組成物を提供する。【解決手段】 研磨材に特定の重合体、すなわち側鎖にカルボキシル基とポリアルキレンオキサイド構造を有するポリカルボン酸系重合体を使用すると、研磨材の分散安定性を向上させ、研磨量が大きくて研磨作業の効率が良く、また表面欠陥が生じ難く、形状精度にも優れており、各種の精密研磨に適した研磨用組成物を得ることができる。

請求項（抜粋）：

研磨材及び側鎖にカルボキシル基とポリアルキレンオキサイド構造を有するポリカルボン酸系重合体を含有する研磨用組成物。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (2件)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 K