特許
J-GLOBAL ID:200903055550841848

自動焦点調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 東島 隆治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-131708
公開番号(公開出願番号):特開2001-312832
出願日: 2000年04月28日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】 可動部が落下しないという安全性と対物レンズの高精度の位置調整と広い対物レンズの可動範囲とを具備する、安定な光ビームの自動調整装置を提供する。【解決手段】 可動部を軸受部に沿って安定して上下させるために、対物レンズと可動部を光軸方向に動作させる駆動コイルとを有する可動部と、前記可動部を気体により静圧支持する静圧気体軸受を具備した固定部と、前記可動部と前記固定部間に配置したコイルスプリングとを有し、コイルスプリングで可動部を下から上方に支持する自動焦点調整装置である。
請求項(抜粋):
対物レンズと可動部を光軸方向に動作させる駆動コイルとを有する可動部と、前記可動部を支持する静圧気体軸受を有する第1の固定部と、前記可動部と前記固定部との1個の隙間に配置された弾性体と、を具備することを特徴とする自動焦点調整装置。
IPC (5件):
G11B 7/09 ,  F16C 17/02 ,  F16C 32/06 ,  F16C 33/10 ,  G02B 7/28
FI (6件):
G11B 7/09 D ,  F16C 17/02 Z ,  F16C 32/06 A ,  F16C 32/06 B ,  F16C 33/10 A ,  G02B 7/11 L
Fターム (38件):
2H051AA14 ,  2H051GB16 ,  3J011AA11 ,  3J011BA02 ,  3J011DA01 ,  3J011DA02 ,  3J011JA02 ,  3J011KA07 ,  3J011LA01 ,  3J011MA02 ,  3J011MA12 ,  3J102AA02 ,  3J102AA07 ,  3J102BA05 ,  3J102BA11 ,  3J102BA17 ,  3J102CA10 ,  3J102CA11 ,  3J102CA32 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA09 ,  3J102EA13 ,  3J102EA19 ,  3J102FA08 ,  3J102GA01 ,  3J102GA03 ,  5D118AA12 ,  5D118BA01 ,  5D118CD02 ,  5D118CD03 ,  5D118CD08 ,  5D118DC03 ,  5D118EA02 ,  5D118EB03 ,  5D118EC03 ,  5D118FA36 ,  5D118FA49
引用特許:
審査官引用 (5件)
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