特許

J-GLOBAL ID：200903055551663552

材料照射装置並びに材料照射装置を駆動する方法

発明者： シュヴァイツー,ユルゲン
出願人/特許権者： カール-ツアイス-シュティフテュング・ハンデルンド・アルツ・カール・ツアイス
代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-531483
公開番号（公開出願番号）：特表平11-507877
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】本発明は、加工ビームを発生させるビーム源と、ビーム源の後段のビーム分割装置とを有し、前記ビーム分割装置によって加工ビームが多数の部分ビームに分割され、その場合に各部分ビームをそれのみに付設されている偏向装置によって他の部分ビームとは関係なく少なくとも1つの加工すべき工作物上の異なる箇所へ案内することができ、かつ加工すべき工作物が少なくとも1つの軸内で移動できる工作物移動装置上に載置されている、材料照射装置に関する。本発明によれば、加工ビームは多数のビーム分割装置上へ次々と入射し、ビーム分割装置はその上に入射する加工ビームの軸内に移動可能に配置されており、ビーム分割装置から出射する部分ビームが工作物移動装置上の工作物の表面へ同時に入射し、かつ工作物移動装置が、少なくともビーム分割装置の移動軸から変位している座標方向に移動可能に配置されている。材料照射装置を駆動する本発明による方法は、部分ビームの偏向装置が少なくとも2本、好ましくは少なくとも4本の部分ビームを同時に工作物の表面上の少なくとも1つの点上へ案内することができることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

加工ビーム(2、22、32、42、52)を発生させるビーム源(1、21、31)と、ビーム源(1、21、31)の後方のビーム分割装置(10A、10B、10C、10D、310A)とを有し、前記ビーム分割装置によって加工ビーム(2、22、32、42、52)が多数の部分ビーム(12A、12B、12C、12D)に分割され、その場合に各部分ビーム(12A、12B、12C、12D)をそれのみに付設されている偏向装置によって他の部分ビーム(12A、12B、12C、12D)とは関係なく加工すべき少なくとも1つの工作物(13A、13B、13C、13D、213A、313A)上の異なる箇所へ案内することができ、かつその場合に加工すべき工作物(13A、13B、13C、13D、213A、313A)が少なくとも1つの軸内で移動可能な工作物移動装置(14A、14B、14C、14D、214A、314A)に載置されている、材料照射装置において、 加工ビーム(2、22、32、42、52)が多数のビーム分割装置(10A、10B、10C、211A、311A)上へ次々と入射し、 ビーム分割装置(10A、10B、10C、211A、311A)がそれへ入射する加工ビーム(2、22、32、42、52)の軸内に移動可能に配置されており、 ビーム分割装置(10A、10B、10C、310A)から出射する部分ビームが工作物移動装置(14A、14B、14C、14D、214A、314A)上の工作物の表面へ同時に入射し、 工作物移動装置(14A、14B、14C、14D、214A、314A)が、少なくともビーム分割装置(10A、10B、10C、310A)の移動軸から変位している座標方向に移動可能に配置されている、ことを特徴とする材料照射装置。

IPC (3件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 330 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

B23K 26/06 C ,  B23K 26/00 330 ,  H05K 3/00 N