特許

J-GLOBAL ID：200903055555609560

ICリードの外観寸法検査装置

発明者： 清水 良一
出願人/特許権者： エム・シー・エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 横沢 志郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-310265
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153413
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 光学系を簡素化することにより小型、コンパクトに構成可能なICリードの外観寸法検査装置を提案すること。【解決手段】 ICリードの外観寸法検査装置1では、ステージガラス2の基準面2aに設置したサドルプレート3の上に検査対象のICチップ4が載置される。サドルプレート3の側面31乃至34には下方に向けて45度傾斜した反射面71乃至74が形成されている。ICチップ4の各辺のリード群41〜44の側面映像は、その側方から散乱光を照射する側面照明手段81〜84によって得られる。これらの側面映像は各反射面71〜74で反射されて、ICリード群41〜44の平面映像を得るための撮像手段6に結像する。従って、撮像手段6で得られるICリード群41〜44の平面映像および側面映像に基づき、検査主要項目であるリードの平坦度、ピッチ、曲がり等を簡単な処理により検査できる。この構成によれば、サドルプレートに形成した反射面を利用して光学系を簡素化できるので、装置構成を小型、コンパクト化できる。

請求項（抜粋）：

上面が基準面とされている透明なステージと、当該ステージの基準面に設置された一定厚さのサドルプレートと、当該サドルプレートの上面に乗せた検査対象のICリードに光を照射する照明手段と、当該照明手段による照明により得られるICリードの映像を撮像する撮像手段とを有するICリードの外観寸法検査装置において、前記サドルプレートの少なくとも一つの側面に形成され前記ステージの側に傾斜した反射面と、前記サドルプレートの側方位置から前記反射面に向けて光を照射する側面照明手段とを有し、前記反射面の反射映像を前記撮像手段で撮像するようになっていることを特徴とするICリードの外観寸法検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/30 101

FI (3件)：

G01B 11/24 C ,  G01B 11/24 M ,  G01B 11/30 101 A