特許

J-GLOBAL ID：200903055561472526

気相成長装置とその方法

発明者： 池田 正清
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 箕浦 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054183
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217901
出願日： 1992年02月06日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 複数の原料ガス系統と複数の補償ガス系統を、それぞれ反応炉に接続した原料供給ラインと排気ラインとに連通してなる気相成長装置において、補償ガス系統の数を減らして装置コストの低減を図る。【構成】 原料ガス系統の数をN、補償ガス系統の数をn(N>n)とし、任意の原料ガス系統kに供給する原料ガスの流量をある流量(Q)の自然数(nk )倍とし、かつ任意の補償ガス系統kに供給するキャリアガスの流量をQの自然数(mk )倍とした際に、{nk }及び{mk }の部分和をそれぞれΣ ́nk 及びΣ ́mk とすると、任意の部分和Σ ́nk に対して下記の(1) 式を満足する部分和Σ ́mk が存在するようにn個の補償ガス系統を設けた気相成長装置。

請求項（抜粋）：

原料供給ラインと排気ポンプに接続した排気口を設けた反応炉を有し、キャリアガスを含んだ複数の原料ガスのそれぞれの流路を分岐して一方は各々原料ガス供給バルブを介して上記原料供給ラインに接続し、他方は原料ガス排気バルブを介して上記排気ポンプに連通してキャリアガスを流通させている排気ラインに接続し、かつキャリアガスを補償ガスとして複数の流路に分岐し、さらに各々の流路を分岐して一方は補償ガス供給バルブ介して上記原料供給ラインに接続し、他方は補償ガス排気バルブを介して上記排気ラインに接続してなる気相成長装置において、一組の原料ガス供給バルブと原料ガス排気バルブとで構成した原料ガス系統の数をN、一組の補償ガス供給バルブと補償ガス排気バルブとで構成した補償ガス系統の数をn(N>n)とし、任意の原料ガス系統kに供給するキャリアガスを含んだ原料ガスの流量をある流量(Q)の自然数(nk)倍とし、かつ任意の補償ガス系統kに供給するキャリアガスの流量をQの自然数(mk )倍とした際に、nk の任意の集合{nk }及びmk の任意の集合{mk }の部分和をそれぞれΣ ́nk 及びΣ ́mk とすると、任意の部分和Σ ́nkに対して下記の(1) 式を満足する部分和Σ ́mk が存在するようにn個の補償ガス系統を設けたことを特徴とする気相成長装置。