特許
J-GLOBAL ID：200903055564785320
耐熱ガラス定盤
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360365
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198560
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【構成】 表面が平坦状の耐熱ガラス定盤1と低熱膨張材でできたサブプレート2とを一体接合し、回転軸3を介して回転自在にした耐熱ガラス定盤。【効果】 半導体ウェハ等を微細砥粒を使用して研磨する場合、スクラッチフリーに仕上げることができる。さらに、表面が平坦状の耐熱ガラス定盤を低熱膨張材でできたサブプレートと接合した定盤にしたために、研磨加工による熱膨張の影響を受けず、また、バイメタル現象によって定盤が反るということがなく、表面が平坦状の耐熱ガラス定盤の変形による加工むらをなくした、より高精度の仕上がりが得られる。
請求項（抜粋）：
表面が平坦状の耐熱ガラス定盤と低熱膨張材でできたサブプレートとを一体接合し、回転軸を介して回転自在にした耐熱ガラス定盤。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
