レーザビーム制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008049
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104519
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】本発明は、レーザビーム制御方法に関し、レーザ光を照射したときの面積をもとに自動焦点合わせを行い、非常に簡易かつ軽量な光学系で自動焦点合わせしたり、非感光性のレーザ光を使用して自動焦点合わせを行った後に感光性のレーザ光により描画し、自動焦点時の感光による非所望のパターン幅の増大を無くして均一な線幅のパターンの描画を可能にすることを目的とする。【構成】レーザビームを被描画体8に照射し、反射してきたレーザを検出する検出器14と、検出器14からの信号をもとに被描画体8上のビームスポット面積S1を測定する面積測定部21と、測定したビームスポット面積S1と指定された面積S0とを比較してその誤差分に対応するZ方向の移動量ΔZを算出するZ調整処理部24とを備え、この算出した移動量ΔZだけ対物レンズ12と被描画体8との距離を移動するように構成する。

請求項（抜粋）：

レーザビームの焦点合わせを制御するレーザビーム制御方法において、レーザビームを対物レンズ(12)により被描画体(8)に照射し、反射してきたレーザを検出する検出器(14)と、この検出器(14)からの信号をもとに上記被描画体(8)上のビームスポット面積S1を測定する面積測定部(21)と、この測定したビームスポット面積S1と指定された面積S0とを比較してその誤差分に対応するZ方向の移動量ΔZを算出するZ調整処理部(24)とを備え、この算出した移動量ΔZだけ対物レンズ(12)と被描画体(8)との距離を移動するように構成したことを特徴とするレーザビーム制御方法。

IPC (2件)：

H01S 3/101 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-118712
特開平2-094118
特開平2-303693

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審査官引用 (6件)

特開平1-118712
特開平2-094118
特開昭55-141623

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