可変容量コンデンサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006529
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199376
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】小型で静電容量の可変率が大きく、任意の形状のC-V曲線を得られる可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】絶縁基板6の表面には検出電極7と、複数の容量形成電極8,9,10が、一端側が検出電極と空隙を介して対向し、他端側が絶縁基板の表面に固定される。電気的に接続される順番に大きなバネ力を持つスイッチ電極12,13が、容量形成電極間に設けられる。スイッチ電極と対向するように絶縁基板の表面に設けられた。駆動電極11A,11Bと、スイッチ電極の間に、T2、T3から印加する外部バイアス電圧に応じて可動電極部21A,21Bと駆動電極の間にはク-ロン力が発生し、外部バイアス電圧が所定以上になるとク-ロン力がバネ力に勝り、可動電極部は駆動電極に引き付けられて容量形成電極間は電気的に導通し、固定電極と検出電極の間に形成された静電容量が並列に接続され、合成静電容量として取り出される。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板の表面に設けられた検出電極と、該検出電極と一端側が空隙または誘電体を介して対向すると共に前記絶縁基板の表面に他端側を固定された複数の容量形成電極と、該容量形成電極間に設けられたスイッチ電極と、前記絶縁基板の表面に設けられ前記スイッチ電極と空隙を介して対向する駆動電極と、該駆動電極と前記容量形成電極との間に外部バイアス電圧を印加する手段とを備え、外部バイアス電圧によって前記スイッチ電極を可動させることにより前記容量形成電極の間を電気的に導通することを特徴とする可変容量コンデンサ。

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