特許
J-GLOBAL ID:200903055576468770

電子顕微鏡用試料凍結乾燥装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北條 和由
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-230973
公開番号(公開出願番号):特開平5-133858
出願日: 1991年08月19日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 試料ブロックが温度変動の小さな平坦な温度を保持し得るようにすると共に、液体窒素トラップ効果を最大限に利用し、排気装置を簡略化し、能率のよい試料の真空乾燥を可能とする。【構成】 真空乾燥室1に液体窒素トラップ2が設けられており、真空乾燥室1の上方にゲートバルブ3を介して試料予備排気室4が配置され、下方に分子ポンプ5が接続され、真空乾燥室1の真空排気を行う。乾燥室1内に試料ブロック保持部7が設置され、これが適切な熱抵抗を有する熱伝導体8によって液体窒素トラップ2の内側容器に接続される。さらに、この試料ブロック保持部7には、温度計測を行なう熱電対等の測温素子16と、その測定温度により試料ブロック保持部7の温度を制御するための温度制御用ヒータ15とが取り付けられている。
請求項(抜粋):
超高真空中で電子顕微鏡の観察に供される含水試料を凍結乾燥する装置に於て、超高真空に維持されるべき試料乾燥室と、この試料乾燥室に冷却容器面を臨ませた大型液体窒素トラップと、この液体窒素トラップに熱抵抗を有する熱伝導体で連結されると共に、試料ブロックを保持する試料ブロック保持部と、この試料ブロック保持部を加熱して、その温度を制御する温度制御用ヒータとを備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料凍結乾燥装置。
IPC (2件):
G01N 1/28 ,  H01J 37/20
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-171571
  • 特開平1-142445

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