特許

J-GLOBAL ID：200903055578654350

感放射線性樹脂組成物

発明者： 村田 誠 ,  小林 英一 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316683
公開番号（公開出願番号）：特開平6-161111
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 高感度で、優れたパターン形状を与えることができ、しかも解像性に優れるレジスト材料として好適に用いることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 4-t-アルコキシカルボニルメチルスチレン重合体、4-ビニル安息香酸t-アルキルとイソプロペニルフェノールとの共重合体などの重合体と感放射線性酸形成剤からなる。

請求項（抜粋）：

下記式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体(A)と感放射線性酸形成剤を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027