特許
J-GLOBAL ID：200903055592521932
ガス中の微量水分測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109629
出願日： 1991年12月01日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】本発明は被測定ガスを冷却されている反射鏡に直接接触させて、反射鏡上に露または霜を発生させて、それに光線を照射させ、露点または霜点を測定することにより、ガス中の水分を測定するに際し、受光装置を2個以上設置して、散乱光の安定した変化を高感度で測定できるようにした装置。
請求項（抜粋）：
(i)室温から-80°C以下の任意の温度までに変えることが可能な反射鏡、(ii)その反射鏡に被測定ガスが接触するようにその反射鏡を含む室への被測定ガス導入口又は、ガス吹付けノズル、(iii)集光光線又はレーザー光、(iv)露又は霜が発生する反射鏡の部分に集光させた光線を投射させる装置、(v)反射鏡上に形成された露又は霜による散乱光及び/又は反射光の変化を検出する機構、及び(vi)散乱光の変化を検出した時の温度を検知する機構を含むガス中の微量水分測定装置において、前記散乱光の検出を2方向以上に設置した受光装置で行なうことを特徴とする装置。
IPC (3件)：
G01N 21/47
, G01N 25/04
, G01N 25/14
