特許

J-GLOBAL ID：200903055603876053

ウエーハのブラシ洗浄装置

発明者： 工藤 秀雄 ,  内山 勇雄 ,  田中島 隆司 ,  木村 嘉晴 ,  鈴木 盛江
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047724
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】[目的] 毎葉式のウエーハ自動洗浄装置において、垂直に起立するウエーハの両面を同時に、且つ効率良くブラシ洗浄すること。[構成] 水平、且つ回転自在に配される一対の回転ブラシ74,75と、該回転ブラシ74,75を回転駆動する駆動モータ(ブラシ駆動手段)87,88と、ウエーハWを支持してこれを回転駆動する駆動ローラ60,61、駆動モータ65(ウエーハ駆動手段)を含んでブラシ洗浄装置50を構成する。ウエーハWは回転ブラシ74,75間に挟持され、その外周部が駆動ローラ60,61によって受けられる。この状態で駆動モータ65を駆動して駆動ローラ60,61でウエーハWを回転させるとともに、駆動モータ87,88を駆動して回転ブラシ74,75を回転駆動すれば、ウエーハWはその両面を回転ブラシ74,75によって洗浄される。

請求項（抜粋）：

垂直に起立するウエーハを一対の回転ブラシ間に挟持してこれの両面を同時にブラシ洗浄する装置であって、水平、且つ回転自在に配される一対の回転ブラシと、該回転ブラシを回転駆動するブラシ駆動手段と、ウエーハを支持してこれをそのウエーハの面に直角な中心軸の回りに回転駆動するウエーハ駆動手段を含んで構成されることを特徴とするウエーハのブラシ洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-143634
  
• 特開昭61-179529
  
• 特開平2-135777
  
• 特開平2-263437