動的に駆動されるステージミラー及びチャック組立体を備えるZステージ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-084660
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294930
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。【解決手段】ステージミラー110に対する基材チャック106の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているZステージアクチュエータ126及びXYステージアクチュエータ146、148のうちの一方又は両方を有する1つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Zステージプレート112、ステージミラー110、Zステージプレートへ取り付けられている1つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの6つの運動自由度に対する拘束を有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基材チャックと、基材チャックへ結合されているZステージと、 Zステージへ取り付けられているステージミラーと、ステージミラーに対する基材チャックの変位を感知するように構成されている1つ以上の相対位置センサと、 1つ以上の相対位置センサは1つ以上のフィードバックループにおいてステージミラーに対する基材チャックの運動を動的に補償するための1つ以上の動的補償手段と結合されていることと、からなる基材支持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027 , H01J 37/20 , G12B 5/00

FI (5件)：

H01L21/68 K , H01L21/68 F , H01L21/30 541G , H01J37/20 D , G12B5/00 T

Fターム (28件)：

2F078CA01 , 2F078CA08 , 2F078CB02 , 2F078CB04 , 2F078CB05 , 2F078CB10 , 2F078CB13 , 2F078CB14 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001CC04 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031HA16 , 5F031JA02 , 5F031JA06 , 5F031JA07 , 5F031JA09 , 5F031JA19 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA30 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031LA10 , 5F031MA27 , 5F056EA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

露光装置およびそのアライメント方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180426 出願人：キヤノン株式会社
荷電粒子線露光装置及び方法並びにステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-378022 出願人：キヤノン株式会社

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