特許

J-GLOBAL ID：200903055605127759

電気特性測定用プローブ

発明者： 野瀬 保人 ,  太田 勉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145210
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007052
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【構成】 単結晶シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、ポリシリコン、あるいは金属層の少なくとも一層からなる片持ち梁構造15とし、その表面に導通用の金属皮膜14を形成する。さらに、この片持ち梁構造体15を導通配線パターン19を形成した絶縁基板18で保持して電気特性測定用プローブとする。【効果】 フォトリソ、薄膜形成等のプロセスにより製作するため、微細な配列ピッチの接触子を有する電気特性測定用プローブが得られ、接触子の位置精度、平面度が優れ、機械的強度も高いため測定の耐久性、信頼性を向上させる事が出来る。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコン、酸化シリコン、ポリシリコン、あるいは窒化シリコンの少なくとも一層からなる片持ち梁により、測定する電子部品の測定用端子との電気的接触を行う事を特徴とする電気特性測定用プローブ。