特許

J-GLOBAL ID：200903055611168173

レーザ加工装置及びレーザ加工方法

発明者： 小林 克行
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (3件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄 ,  鵜飼 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-000693
公開番号（公開出願番号）：特開2008-168297
出願日： 2007年01月05日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：

【課題】 高い加工品質で加工を行う。【解決手段】 外部から与えられるトリガ信号に基づいてパルスレーザビームを出射するレーザ光源と、加工対象物を保持するステージと、レーザ光源から出射されたパルスレーザビームを、外部から与えられる分岐指令信号に基づいて、ステージに保持された加工対象物に入射する複数本のパルスレーザビームに分岐させる分岐数可変の分岐手段と、ステージに保持された加工対象物上の複数の被加工点に、それぞれ分岐後のパルスレーザビームが入射するように、分岐手段に分岐指令信号を送出するとともに、レーザ光源に分岐指令信号で指令された分岐数に基づいたショット数のレーザパルスがステージに保持された加工対象物に入射するようにトリガ信号を送出する制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

外部から与えられるトリガ信号に基づいてパルスレーザビームを出射するレーザ光源と、 加工対象物を保持するステージと、 前記レーザ光源から出射されたパルスレーザビームを、外部から与えられる分岐指令信号に基づいて、前記ステージに保持された加工対象物に入射する複数本のパルスレーザビームに分岐させる分岐数可変の分岐手段と、 前記ステージに保持された加工対象物上の複数の被加工点に、それぞれ分岐後のパルスレーザビームが入射するように、前記分岐手段に、前記分岐指令信号を送出するとともに、前記レーザ光源に、前記分岐指令信号で指令された分岐数に基づいたショット数のレーザパルスが前記ステージに保持された加工対象物に入射するように前記トリガ信号を送出する制御装置と を有するレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/067 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06

FI (3件)：

B23K26/067 ,  B23K26/00 N ,  B23K26/06 J

Fターム (7件)：

4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CB01 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CF04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭51-73698号公報
  
• 特許第2723798号公報