特許

J-GLOBAL ID：200903055630049380

プローブカード固定機構及びプローブ装置

発明者： 志村 剛 ,  中島 久 ,  横森 和人
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202889
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031035
出願日： 1996年07月13日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 検査中に空気圧の低下や空気供給の停止が起っても、プローブカードを確実に固定し、またその脱落を確実に防止できる固定機構とその機構を備えたプローブ装置を提供する。【解決手段】 プローブカード固定機構は、プローブ装置本体のヘッドプレート1Aに固定リング51が固定され、該リング51の下面に固定されたシリンダリング52と昇降可能に嵌合すると共に、前記固定リング51との間で圧縮気体を導入できる気密室53を作り、該室の圧力に応じてシリンダリング52に従ってピストンリング55が昇降し、このピストンリングと回転自在に嵌合しかつプローブカードを受けるカード受けリング56を、ピストンリング55を介して常に上方へ持上げるようにシリンダリング52にコイルスプリング58が装着され、このコイルスプリングの持上げ力によりプローブカードは固定される。

請求項（抜粋）：

被検査体の電気的特性を行うプローブ装置の装置本体にプローブカードを固定する機構において、上記装置本体のヘッドプレートに固定された固定リングと、この固定リングの下面に固定されたシリンダリングと、このシリンダリングと昇降可能に嵌合すると共に上記固定リングとの間で圧縮気体を導入できる気密室を作り気密室の圧力に応じてシリンダリングに従って昇降するピストンリングと、このピストンリングと回転自在に嵌合し且つ上記プローブカードを受けるカード受けリングと、このカード受けリングを上記ピストンリングを介して常時上方へ付勢するように上記シリンダリングに装着された弾性部材とを備え、上記弾性部材の付勢力によりカード受けリングと上記シリンダリングとで上記プローブカードを固定することを特徴とするプローブカード固定機構。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B