ダイシング装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-389702
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197560
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】オイルパンの上部に蛇腹等のシール部材を用いずに、Xテーブルのガイド機構や駆動機構を防水でき、また、オイルパンの清掃が容易で、ダイシング装置の稼働率を低下させないダイシング装置を提供すること。【解決手段】ワークテーブル25の下方に研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパン50を配置し、オイルパン50の外側にXテーブル27をX方向に案内するガイド手段28と、Xテーブル27をX方向に研削送りする駆動手段31とを配置した。また、ガイド手段28及び駆動手段31に連結されるとともに、ワークテーブル27を前記オイルパン50中に吊り下げ保持する吊り下げ部材27A、27Bを設けた。ワークテーブル25がオイルパン50中に吊り下げられているので、オイルパン50の底部に開口部を形成する必要がなく、開口部をシールする蛇腹が不要になり、また、蛇腹が用いられていないのでオイルパン50の清掃が容易になった。

請求項（抜粋）：

ワークを載置したワークテーブルをX方向に研削送りするXテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、X方向に直交するY方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置において、前記ワークテーブルの下方に配置され、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンと、該オイルパンの外側に配置され、前記XテーブルをX方向に案内するガイド手段と、前記オイルパンの外側に配置され、前記XテーブルをX方向に研削送りする駆動手段と、前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられていることを特徴とするダイシング装置。

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