特許

J-GLOBAL ID：200903055632887595

耐食性AlまたはAl合金材

発明者： 中山 武典 ,  今野 豊彦
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  スタンフォード ユニバーシティー
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139706
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198575
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 たとえば半導体デバイス用Al系配線材の如く、高レベルの信頼性が要求されるデバイス類、機器類、装置類等の構成材料として有用な、高耐食性のAlまたはAl合金材を提供することを目的とする。【構成】 AlまたはAl合金材の表面に多層構造のめっき層を形成して耐食性を高めた耐食性AlまたはAl合金材であって、該めっき層は、特定の構成々分よりなる単位めっき層を2層もしくは3層以上積層してなる厚さが100Å以下の単位周期層を、更に5層以上重ね合わせたものであり、こうした多層めっき構造とすることにより、水や塩素イオン等の腐食促進物質がめっき層を透過して基材表面にまで到達するのを阻止し、AlまたはAl合金の腐食を効果的に防止することができる。

請求項（抜粋）：

AlまたはAl合金材の表面にめっき層を形成してなる耐食性AlまたはAl合金材において、下記(1) 又は(2) に列記した各物質よりなる群から選ばれる1種又は2種以上の構成素材によって形成された単位めっき層が2層又は3層以上相隣接して形成される単位周期層を有し、各隣接する前記単位めっき層は相互に異なる前記構成素材によって形成され、且つ各前記単位周期層の厚みが100Å以下であり、めっき層のトータル厚みが該単位周期層の平均厚みの5倍以上であることを特徴とする耐食性AlまたはAl合金材。(1) Al,Al合金,Si,Ge,Ti,Zr,Hf,Nd,Ta,Cr,貴金属及び無機物(2) Si,Ge,Ti,Zr,Hf,Nd,Ta, Cr,貴金属及び無機物よりなる群から選択される1種又は2種以上であって、上記(1) とは異なるもの

IPC (2件)：

H01L 21/3205 ,  C23C 14/08

FI (2件)：

H01L 21/88 N ,  H01L 21/88 R