特許

J-GLOBAL ID：200903055633869485

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

発明者： 指田 暢幸 ,  竹田 直滋 ,  真壁 裕明
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196264
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043842
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【構成】 (A)ポリスチレンを標準としたゲルパーミエーションクロマトグラフィーにて測定した、特定の構造式の重量平均分子量が、10000〜40000のポリアミド酸エステル、(B)光開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とする感光性樹脂組成物。【効果】 極めて微細なパターンを容易に得ることができる。

請求項（抜粋）：

(A)ポリスチレンを標準としたゲルパーミエーションクロマトグラフィーにて測定した、下記式(1a)、(1b)及び(1c)で示される構造の重量平均分子量が、10000〜40000のポリアミド酸エステル、(B)光開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (5件)：

G03F 7/027 514 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/027 514 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/30 502 R