特許
J-GLOBAL ID：200903055645093504
集積化加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315566
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148946
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 オフセットドリフトを補償して感度の安定化を図り、低ノイズ化および高分解能化を図ることが可能な加速度センサ。【解決手段】 応力が加わる検出軸方向の加速度成分に対しては差動モードとし、他軸方向の加速度成分に対しては同相モードとして出力する差動増幅回路510を用い、この差動増幅回路510の利得を負帰還処理により決定し、感度ばらつきを低減させる。また、補償回路の補償電圧を差動増幅回路510の入力端子、および、電流制御端子に入力することにより、オフセット電圧、オフセット電圧ドリフト、温度の補償を行う。
請求項（抜粋）：
固定された支持体と、可動自在とされた重り部と、前記支持体と前記重り部とを接続した肉厚の薄い梁とを有し、応力による前記梁のたわみを利用して加速度を測定する集積化加速度センサであって、前記梁の応力集中部に配設され、該梁に加わる応力を検出する複数個のひずみ検出素子と、前記支持体に配設された第1および第2の増幅回路を有し、前記複数個のひずみ検出素子により出力された出力値に対して、応力が加わる自軸方向成分に対しては差動モードとして検出し、かつ、他軸方向成分に対しては同相モードとして検出する差動増幅回路と、前記第1および第2の増幅回路の各出力信号に応答して当該第1および第2の増幅回路の各々におけるオフセットの補償を行うためのオフセット補償信号を作成し、当該オフセット補償信号を当該第1および第2の増幅回路の各対応する入力側に帰還するオフセット補償手段とを具えたことを特徴とする集積化加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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