特許
J-GLOBAL ID:200903055645208158

フローティング支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳野 隆生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-094478
公開番号(公開出願番号):特開平11-291130
出願日: 1998年04月07日
公開日(公表日): 1999年10月26日
要約:
【要約】【課題】 上下方向に小型に構成可能で、しかも可動ベースの移動抵抗を格段に小さくできるとともに、耐久性にも優れたフローティング支持装置を提供する。【解決手段】 可動ベース11を固定ベース10に対してフローティング支持するためのガイド手段20として、平坦な移動面27内において、X軸方向及びY軸方向に移動自在で且つ移動面27に直交する軸心回りのθ方向に回動自在に可動ベース11を案内する面内方向ガイド手段を有し、面内方向ガイド手段は、平坦な移動面27を有する移動案内部材25と、移動案内部材25の移動面27にX軸方向とY軸方向とθ方向とに移動自在に摺接して移動案内部材27を受け止める受け部材28と、受け部材28を含む空間を油密状にシールしてなり、移動案内部材25と受け部材28間を潤滑する潤滑油を充填した油室22とを備えた。
請求項(抜粋):
固定ベース及び可動ベースと、可動ベースを固定ベースに対してフローティング支持するためのガイド手段であって、平坦な移動面内において、X軸方向及びY軸方向に移動自在で且つ移動面に直交する軸心回りのθ方向に回動自在に可動ベースを案内する面内方向ガイド手段とを有し、前記面内方向ガイド手段は、前記平坦な移動面を有する移動案内部材と、前記移動案内部材の移動面にX軸方向とY軸方向とθ方向とに移動自在に摺接して移動案内部材を受け止める受け部材と、前記受け部材を含む空間を油密状にシールしてなり、移動案内部材と受け部材間を潤滑する潤滑油を充填した油室と、を備えたことを特徴とするフローティング支持装置。
IPC (2件):
B23P 19/02 ,  B25J 17/02
FI (2件):
B23P 19/02 Q ,  B25J 17/02 G

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