特許
J-GLOBAL ID：200903055648654884
高周波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008951
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198389
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成でスイッチの消耗を防ぎ、長期間安定に高周波の複数の負荷への切り替えを可能とする高周波装置を実現するにある。【構成】 負荷5に高周波を印加したい場合には、可変コンデンサ10の容量を最大とし、可変コンデンサ11の容量を最小にする。良く知られているように、コンデンサの容量が大きくなればインピーダンスは低くなり、逆にコンデンサの容量が小さくなればインピーダンスは高くなる。その結果、容量が最大とされた可変コンデンサ10のインピーダンスは著しく低くなり、負荷5にインピーダンス整合器9からの高周波が供給されることになる。一方、可変コンデンサ11の容量は低くされているので、可変コンデンサ11のインピーダンスは著しく高くなり、負荷6への高周波の供給はほとんど停止された状態となる。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波が供給されるインピーダンス整合器と、高周波が供給される複数の負荷と、インピーダンス整合器と複数の負荷の夫々との間に設けられた可変コンデンサとを備えた高周波装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23F 4/00
, H01L 21/203
, H01L 21/302
