特許

J-GLOBAL ID：200903055648868060

照明装置

発明者： 斉藤 晋 ,  鈴木 等 ,  芳野 寿和 ,  桑原 理 ,  西坂 武士
出願人/特許権者： 株式会社トプコン ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-079678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124875
出願日： 1991年04月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 照明の均一性により優れた照明装置を提供することである。【構成】 露光面を照明する照明光学系において、該照明光学系の中の少なくとも1ヵ所に前記露光面と共役な位置を設け、該共役位置の近傍に、露光面の光量分布と逆の特性をもつ補正フィルタを設けている。

請求項（抜粋）：

露光面を照明する照明光学系において、該照明光学系の中の少なくとも1ヵ所に前記露光面と共役な位置を設け、該共役位置の近傍に、露光面の光量分布と逆の特性をもつ補正フィルタを設けたことを特徴とする照明装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/52 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521