特許
J-GLOBAL ID：200903055649557246
減衰全反射型薄膜評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074627
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288902
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 ATR評価を行うための例えばプリズム底面での測定用光ビームの照射位置が、その測定用光ビームの角度掃引によってずれが生じることを実質的に回避できるようにする。【構成】 被評価薄膜を有する試料62を載置する載置台61を構成するゴニオメータの回転ステージ60上に、試料62が載置され回転ステージ60の面に沿って被評価薄膜の法線方向に移動可能な移動ステージ75を設け、移動ステージ75上の試料62に対する入射測定用光ビーム14の光路上にビームシフタ68を配置し、このビームシフタ68によって測定用光ビーム14の光軸がシフトさせる。
請求項（抜粋）：
被評価薄膜を有する試料を載置する載置台を構成するゴニオメータの回転ステージ上に、上記試料が載置され、上記回転ステージ面に沿って上記被評価薄膜面の法線方向に移動可能な移動ステージが設けられ、該移動ステージ上の上記試料に対する入射測定用光ビームの光路上にビームシフタが配置され、該ビームシフタによって上記測定用光ビームの光軸がシフトされるようにしたことを特徴とする減衰全反射型薄膜評価装置。
IPC (2件)：
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