特許
J-GLOBAL ID：200903055660801841
波面センサ並びに波面計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159491
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015057
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】光波の波面を広いダイナミックレンジで計測できる波面センサを得る。【構成】複数のレンズレットを通る光のそれぞれに特徴(例えば、光強度)を付加し、これらの光を受けたCCD等の受光素子から画像データを得る。この画像データを画像データ記憶手段7に記憶する。この画像データから計測スポット位置を演算する計測スポット位置演算手段13、集光スポットの特徴を検出する特徴検出手段105、上記特徴を基に、その特徴を有する集光スポットに対応する基準スポット位置と、上記計測スポット位置とを対応付けする対応付け手段106、対応付けされた基準スポット位置と上記計測スポット位置とから波面を演算する波面演算手段16、からなるものである。
請求項（抜粋）：
複数のレンズレットと、これら複数のレンズレットをそれぞれ透過する光の一部又は全部に対し、これらの光のそれぞれに光の特徴である第1の特徴を付して複数の特徴光を生成する特徴付加手段と、上記複数の特徴光を受光して、受光した上記複数の特徴光の像を受光信号として出力する受光手段と、上記受光信号から計測対象となる特徴光にかかる特徴光信号を抽出する特徴信号抽出手段と、上記特徴光信号から上記計測対象となる特徴光の受光位置を計測スポット位置として検出する第1の位置検出手段と、上記特徴光信号から特徴光にかかる光の特徴を計測特徴として検出する特徴検出手段と、上記計測特徴を基に、予め定められた複数の基準スポット位置から上記計測スポット位置に対応する基準スポット位置を対応基準スポット位置として選択する第1の基準位置選択手段と、上記計測スポット位置と上記対応基準スポット位置とを基に上記光の波面を演算する第1の波面演算手段と、を備えた波面センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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鏡面形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-196110
出願人：三菱電機株式会社
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特表平4-506573
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特表平4-506573
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