感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050218
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244229
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】分光スペクトルで感度が測定可能な感光性組成物、形成条件を設定可能で微細なパターン形成方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の感光性組成物は、化学放射線の照射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得る結合を少なくとも一つ有する化合物と、酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物とを含有している。また、前記酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物は、次の化学式(1)で表されている。【化1】

請求項（抜粋）：

化学放射線の照射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得る結合を少なくとも一つ有する化合物と、酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

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