表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-045337
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235424
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】被検査面における表面の割れや抉れやめくれ上がりのような顕著な凸凹性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出する。【解決手段】鋼板4の表面に対して一定入射角で偏光を入射し、その反射光の異なる角度の偏光の光強度を受光カメラユニット25a〜25dで検出する。信号処理部30は疵候補領域における疵の幅と長さ及び異なる角度の偏光についての疵部の濃度ピーク値並びに正常部を基準にした濃度積算値の極性の組み合わせパターンを特徴量として検出して疵の種類を判定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部と疵種判定部を有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された画像信号から疵を抽出し、疵の幅と長さと、複数の受光光学系についての疵部の濃度ピーク値並びに正常部を基準にした濃度積算値の極性の組み合わせパターンを特徴量として検出し、疵種判定部は検出された疵の幅と長さと、濃度ピーク値並びに濃度積算値の極性の組み合わせパターンから疵の種類を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 , G01B 11/30 , G01N 21/892

FI (3件)：

G01N 21/89 H , G01B 11/30 A , G01N 21/892 B

Fターム (55件)：

2F065AA12 , 2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC06 , 2F065CC31 , 2F065EE04 , 2F065FF42 , 2F065FF49 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG16 , 2F065HH02 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065LL01 , 2F065LL03 , 2F065LL04 , 2F065LL08 , 2F065LL12 , 2F065LL34 , 2F065MM03 , 2F065MM22 , 2F065NN19 , 2F065PP16 , 2F065QQ03 , 2F065QQ05 , 2F065QQ13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ26 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2G051AA37 , 2G051AB07 , 2G051BA11 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051EA03 , 2G051EA09 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA24 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051ED21

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