露光装置、その露光装置における位置検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210802
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044098
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】空間像の位置検出を短時間で正確に行うことができる露光装置、及びその露光装置における位置検出方法を提供する。【解決手段】レチクルパターンRP1,RP2の投影像の位置検出に先立って、そのレチクルパターンRP1,RP2の投影像をセンサパターン上で初期設定速度にてスキャンさせ、実際の実スキャン速度を求める。この実スキャン速度と初期設定速度との差に応じて、位置検出時におけるスキャン設定速度または取り込みデータ長の設定値を補正する。そして、この補正した設定値に基づいて、レチクルパターンRP1,RP2の投影像をスキャンさせて、その投影像を受光センサ27により検出する。

請求項（抜粋）：

マスクに形成された所定パターンの像を基板上に投影する投影光学系と、前記投影光学系の物体面側または像面側の一方の側に配置される第1パターンに照明光を照射する光源と、前記照明光の照射に基づいて前記投影光学系により形成される前記第1パターンの像を前記投影光学系の物体面側または像面側の他方に配置される第2パターンを介して検出するパターン検出手段と、前記第1パターンの像と前記第2パターンとを相対移動させる走査手段と、前記第1パターンの像と前記第2パターンとを相対移動させつつ、前記パターン検出手段で検出された前記第1パターンの像に基づいて、前記第1パターンの像の位置を検出する位置検出手段と、前記光源、前記パターン検出手段、前記走査手段及び前記位置検出手段の動作を制御する制御手段とを備えた露光装置において、前記制御手段により指令した設定動作と実際の実動作との差に応じて、前記光源、前記パターン検出手段、前記走査手段及び前記位置検出手段の少なくとも1つの動作を補正する補正手段を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , G03F 7/23

FI (6件)：

H01L 21/30 525 C , G01B 11/00 G , G03F 7/23 H , G03F 7/23 Z , H01L 21/30 516 B , H01L 21/30 518

Fターム (70件)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA14 , 2F065AA20 , 2F065BB01 , 2F065BB27 , 2F065CC20 , 2F065CC25 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG05 , 2F065GG08 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL20 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ13 , 2F065QQ16 , 2H097BA01 , 2H097CA13 , 2H097GA43 , 2H097KA12 , 2H097KA38 , 2H097LA10 , 2H097LA11 , 5F046BA05 , 5F046CA04 , 5F046CA08 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC03 , 5F046CC05 , 5F046CC06 , 5F046CC08 , 5F046CC10 , 5F046CC16 , 5F046DA01 , 5F046DA02 , 5F046DA08 , 5F046DA14 , 5F046DB01 , 5F046DB05 , 5F046DC10 , 5F046DC12 , 5F046EA03 , 5F046EA04 , 5F046EA09 , 5F046EB01 , 5F046EB02 , 5F046EB03 , 5F046ED02 , 5F046FA02

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