特許

J-GLOBAL ID：200903055672838074

高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材

発明者： 三島 昭史 ,  渡辺 和男 ,  森 理恵
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-383023
公開番号（公開出願番号）：特開2002-180246
出願日： 2000年12月18日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用ターゲット材を提供する。【解決手段】 光記録媒体保護層形成用ターゲット材を、モル%で、酸化けい素:6〜40%、酸化マグネシウム:1〜5%、酸化ランタンおよび/または酸化スカンジウム:0.1〜2%、硫化亜鉛:残り、からなる配合組成を有する混合粉末のホットプレス焼結体で構成する。

請求項（抜粋）：

モル%で、酸化けい素:6〜40%、酸化マグネシウム:1〜5%、酸化ランタンおよび/または酸化スカンジウム:0.1〜2%、硫化亜鉛:残り、からなる配合組成を有する混合粉末のホットプレス焼結体で構成したことを特徴とする、高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/26 531

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 534 N ,  G11B 7/26 531

Fターム (16件)：

4K029AA11 ,  4K029BA41 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BC08 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D029LA14 ,  5D029LA15 ,  5D121AA04 ,  5D121EE09 ,  5D121EE11