特許

J-GLOBAL ID：200903055675818163

顕微鏡用照明装置

発明者： 片桐 清男 ,  竹内 信悟 ,  古閑 泰行
出願人/特許権者： 信越エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 早川 政名
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342191
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186482
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 顕微鏡による観察において、不確定形状を呈する被検物表面の微細な部分を明瞭に撮像することができる照明装置を提供すること。【構成】 顕微鏡1の合焦位置Gを的とし、該顕微鏡の光軸を外した周囲に集光スポット照明手段を配置し、その集光スポット照明手段は合焦位置Gを外さずに投光角を可変自在とすると共に、投光角の可変調節に関係なく照射スポット径は一定ならしめた。

請求項（抜粋）：

顕微鏡の合焦位置を的とし、該顕微鏡の光軸を外した周囲に集光スポット照明手段を配置し、その集光スポット照明手段は合焦位置を外さずに投光角を可変自在とすると共に、投光角の可変調節に関係なく照射スポット径は一定ならしめたことを特徴とする顕微鏡用照明装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-056918
  
• 特開昭62-291919
  
• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-129081   出願人：株式会社トプコン