特許
J-GLOBAL ID:200903055678579399

表面が硬化された透明樹脂基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-028163
公開番号(公開出願番号):特開平5-222224
出願日: 1992年02月14日
公開日(公表日): 1993年08月31日
要約:
【要約】【目的】 透明樹脂基板と表面硬化膜であるSiOx(x≦2)膜の密着性を改善し、優れた密着性を有する表面が硬化された透明樹脂基板を得る。【構成】 表面に、骨格に窒素とリンを有する環状ホスファゼン化合物から成る中間層と、この中間層の上に原料として有機シリコン化合物を使用してプラズマCVD法により形成されたSiOx(x≦2)膜を備えた表面が硬化された透明樹脂基板。
請求項(抜粋):
表面に、骨格に窒素とリンを有する環状ホスファゼン化合物から成る中間層と、この中間層の上に原料として有機シリコン化合物を使用してプラズマCVD法により形成されたSiOx(x≦2)膜を備えたことを特徴とする表面が硬化された透明樹脂基板。
IPC (6件):
C08J 7/04 ,  B32B 9/00 ,  B32B 27/06 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/50

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