ウェーハの研磨状態検出方法及びウェーハ保持ヘッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229494
公開番号（公開出願番号）：特開2001-054860
出願日： 1999年08月13日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの研磨状態の情報の検出能力が高く、また応答性のよいウェーハの研磨状態の検出方法及びウェーハ保持ヘッドを提供する。また、研磨パッドの表面の状態の情報を検出することができるウェーハの研磨状態の検出方法及びウェーハ保持ヘッドを提供する。【解決手段】ウェーハ保持ヘッドにおいて、ヘッド本体2内に張られたダイヤフラム5の上面に、ダイヤフラム5を介してサブキャリア6とリテーナリング7と接続される金属製の薄板20を設ける。薄板20において、ヘッド本体2とリテーナリング7との間に位置する部分に第一の歪みゲージ25を、リテーナリング7とサブキャリア6との間に位置する部分に第二の歪みゲージ26を取り付ける。これら第一、第二の歪みゲージ25、26が検出する歪みをもとに研磨抵抗を算出する演算装置27を接続する。

請求項（抜粋）：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドに前記ウェーハの一面を当接させるウェーハ保持ヘッドとを具備し、該ウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとをそれぞれ回転させることで前記ウェーハの研磨を行うウェーハ研磨装置におけるウェーハの研磨状態検出方法であって、前記ウェーハ保持ヘッドは、天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、前記ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張られたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記ヘッド本体との間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する圧力調整機構と、前記ダイヤフラムに固定されこのダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、前記ウェーハの一面を保持するためのサブキャリアと、前記ダイヤフラムに、前記サブキャリアの外周面と前記ヘッド本体の内壁面との間に位置するように設けられるとともに前記ヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、研磨時には前記研磨パッドに当接するリテーナリングとを備えており、前記ダイヤフラムを、金属製の薄板によって構成し、このウェーハ保持ヘッドによる前記ウェーハの研磨時に、前記ダイヤフラムの、前記ヘッド本体と前記リテーナリングとの間に位置する部分に取り付けられる第一の歪みゲージによってこの部分に生じる歪みを測定し、該歪みの大きさをもとに、全研磨抵抗の大きさを算出することを特徴とするウェーハの研磨状態検出方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622 , H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/04 K , B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 S , H01L 21/304 622 G

Fターム (7件)：

3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AB04 , 3C058BA09 , 3C058BB09 , 3C058DA12 , 3C058DA17

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