特許
J-GLOBAL ID：200903055685551416

磁気ヘッド用バー状体の研磨装置および研磨方法

発明者：
綿貫 基一

綿貫 基一 について

, 
松下 直久

松下 直久 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315674
公開番号（公開出願番号）：特開2001-134902
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 高い精度の研磨が可能となる磁気ヘッド用バー状体の研磨装置を提供する。【解決手段】 磁気ヘッド素子部22aとELG素子部22bとが形成されたバー状体22を、ELG素子部22bのセンス部の抵抗値をモニターしながら研磨し、磁気ヘッド素子部2aのストリップハイトを調整する磁気ヘッド用バー状体の研磨装置において、バー状体22を研磨面となる第1の面を下方に向けて保持可能な保持手段20と、該保持手段20に保持されたバー状体22の研磨面とは反対側の第2の面を直接もしくはフレキシブルなフイルム36を介して押圧してバー状体22の第1の面をラップ定盤32に押圧するアクチュエータ30とを具備することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッド素子部とELG素子部とが形成されたバー状体を、ELG素子部のセンス部の抵抗値をモニターしながら研磨し、磁気ヘッド素子部のストリップハイトを調整する磁気ヘッド用バー状体の研磨装置において、前記バー状体を研磨面となる第1の面を下方に向けて保持可能な保持手段と、該保持手段に保持されたバー状体の前記第1の面と反対側の第2の面を直接もしくはフレキシブルなフイルムを介して押圧してバー状体の前記第1の面をラップ定盤に押圧するアクチュエータとを具備することを特徴とする磁気ヘッド用バー状体の研磨装置。
IPC (3件)：
G11B 5/127 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/31
FI (3件)：
G11B 5/127 Q ,  G11B 5/187 Q ,  G11B 5/31 N
Fターム (16件)：
5D033AA02 ,  5D033DA12 ,  5D033DA31 ,  5D093AA03 ,  5D093AA04 ,  5D093AB03 ,  5D093AC04 ,  5D093AD05 ,  5D093BD01 ,  5D093FA23 ,  5D093FA26 ,  5D093FA27 ,  5D093HA20 ,  5D111AA01 ,  5D111JJ22 ,  5D111KK20
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特公平5-044085
  • 特公平5-044085
  • 特公平6-019814

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