特許
J-GLOBAL ID：200903055694962240

圧電振動装置

発明者：
上坂 健一

上坂 健一 について

, 
神藤 始

神藤 始 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 山本 俊則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-269154
公開番号（公開出願番号）：特開2009-100196
出願日： 2007年10月16日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】温度特性を維持しつつ、小型化とヒステリシス現象の抑制との実現が可能である、圧電振動装置を提供する。【解決手段】圧電薄膜部は、圧電膜16と圧電膜16の両主面にそれぞれ配置された第1及び第2の電極15,17とを含み、圧電膜16の膜厚方向から透視したときに第1及び第2の電極15,17が圧電膜16を介して重なり合う圧電振動部20が基板12から浮いた状態で支持される。圧電振動装置は、圧電振動部20の輪郭振動を利用するタイプであり、少なくとも圧電振動部20上に、温度補償膜19及び補強膜18をさらに備える。補強膜18は、圧電膜16の音速より小さい音速を有し、かつ、温度特性の符号が温度補償膜19の温度特性の符号と異なる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 圧電膜と前記圧電膜の両主面にそれぞれ配置された第1及び第2の電極とを含み、前記圧電膜の膜厚方向から透視したときに前記第1及び第2の電極が前記圧電膜を介して重なり合う圧電振動部が前記基板から浮いた状態で、前記圧電振動部以外の支持部が前記基板に支持された、圧電薄膜部と、 を備え、 前記圧電振動部の輪郭振動を利用する、圧電振動装置であって、 少なくとも前記圧電振動部上に、温度補償膜及び補強膜をさらに備え、 前記補強膜は、前記圧電膜の音速より小さい音速を有し、かつ、温度特性の符号が前記温度補償膜の温度特性の符号と異なることを特徴とする、圧電振動装置。
IPC (5件)：
H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (7件)：
H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (10件)：
5J108AA04 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD03 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108HH01 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 圧電振動装置
    公報種別：再公表公報   出願番号：JP2006326197   出願人：株式会社村田製作所
  • 特開昭62-200813
  • 共振周波数可変型共振子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040557   出願人：株式会社村田製作所

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