ダイヤフラム型流体制御器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294471
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】ダイヤフラム型流体制御器のダイヤフラムの耐食性や機械的強度を上げることにより、制御器の耐用年数の延伸を図ると共に、制御器の制御精度や制御性を高める。【構成】金属製ダイヤフラムを栓座へ直接に接当させると共に、その弾性力により自力で離座させる構成としたダイヤフラム型制御器に於いて、前記金属製ダイヤフラムを、Mo4〜12%、Ni20〜30%、Co30〜45%、W3〜5%、Ti0.5〜3%、C0.03%以下及び残部がFe及び不可避不純物から成る高弾性・高耐食性合金材により形成する。

請求項（抜粋）：

流体入口(11)と流体出口(12)に連通する浅窪状の栓室(16)の底面に栓座(15)を設けた筐体(10)と、栓座(15)の上方に配設されて前記栓室(16)の気密を保持すると共に、弾性変形により栓座(15)へ当座して流体を遮断する金属製のダイヤフラム(17)と;ダイヤフラム(17)の上方に昇降自在に配設され、これを栓座(15)へ当座せしめるスピンドル(18)とより成り、前記金属製ダイヤフラム(17)の弾性による復元力により、開放時にダイヤフラム(17)を栓座(15)から離座せしめるようにしたダイヤフラム型流体制御器に於いて、前記金属製ダイヤフラム(17)を、Mo4〜12%、Ni20〜30%、Co30〜45%、W3〜5%、Ti0.5〜3%、C0.03%以下及び残部がFe及び不可避不純物から成る高弾性・高耐食性合金材により形成したことを特徴とするダイヤフラム型流体制御器。

IPC (2件)：

F16K 7/16 , F16J 3/02

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平4-080342
特開平4-080342
特開昭61-244976

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