特許
J-GLOBAL ID：200903055709687012
液晶表示装置の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-212184
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055259
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 基板温度の上昇を抑制して製品コストの低減を図ることができるとともに、生産性の向上を図ることのできる液晶表示装置の製造装置を提供する。【構成】 表面にアモルファスシリコン膜を形成されたガラス基板12を基板載置台11上に載置し、処理チャンバ内に所定のドーピングガスを導入し、所定雰囲気とした状態で、ガラス基板12上の各部に、レーザビーム18a、18b、18cが、この順で走査、照射されるように基板載置台11をX-Y方向に所定速度で移動させるよう構成されている。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を多結晶化し、この多結晶シリコン膜に不純物をドーピングするにあたり、前記基板をドーピング物質と接触させるとともに、アモルファスシリコンを多結晶化する強度のレーザ光と、多結晶シリコンに不純物をドーピングする強度のレーザ光とを前記基板に照射しつつ、これらのレーザ光と前記基板とを、走査する如く相対的に移動させ、前記アモルファスシリコン膜の多結晶化と、この多結晶化されたシリコン膜への不純物のドーピングとを連続して行うことを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
IPC (6件)：
H01L 21/336
, H01L 29/784
, G02F 1/136 500
, H01L 21/20
, H01L 21/22
, H01L 27/12
