特許
J-GLOBAL ID：200903055710915894
パルスレーザの発光タイミング信号送出装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341424
公開番号（公開出願番号）：特開平11-177168
出願日： 1997年12月11日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】レーザの発光タイミングと半導体露光装置側での制御タイミングとの同期精度を向上させる。【解決手段】充電電源HVに直列接続された複数の磁気スイッチAL0〜AL2とそれぞれが充電電源に対し並列に接続された複数のコンデンサC0〜C2、Cpによって複数段の電荷転送回路を構成し、電流パルスを複数段に圧縮する磁気パルス圧縮回路と、この磁気パルス圧縮回路に前記充電電源を断続するスイッチング手段SWと、磁気パルス圧縮回路の出力端に接続されたレーザ放電電極6とを有し、半導体露光装置側からの所定の繰り返し周波数のレーザ発振同期信号をトリガとしてスイッチング手段をオンし、発振するパルスレーザにおいて、磁気パルス圧縮回路の所定段電流パルスの立上検出用電流検出手段20と、この検出信号を発光タイミング信号として前記半導体露光装置側へ出力する出力手段21とを具える。
請求項（抜粋）：
充電電源に対し直列に接続された複数の磁気スイッチとそれぞれが前記充電電源に対し並列に接続された複数のコンデンサとによって複数段の電荷転送回路を構成し、この複数段の電荷転送回路によって電流パルスを複数段に圧縮する磁気パルス圧縮回路と、この磁気パルス圧縮回路に前記充電電源を断続するスイッチング動作を行うスイッチング手段と、前記磁気パルス圧縮回路の出力端に接続されたレーザ放電電極と、を有し、半導体露光装置側より受信した所定の繰り返し周波数を有するレーザ発振同期信号をトリガとして前記スイッチング手段をオンすることにより、所定の繰り返し周波数のパルスレーザ発振を実行するパルスレーザにおいて、前記磁気パルス圧縮回路における予め設定された所定の段の電荷転送回路を流れる電流パルスの立上がり時点を検出する電流検出手段と、この電流検出手段の検出信号を各パルスレーザ発振の発光タイミング信号として前記半導体露光装置側へ出力する出力手段と、を具えるようにしたことを特徴とするパルスレーザの発光タイミング信号送出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 A
, H03K 3/53 Z
