特許
J-GLOBAL ID:200903055714309123
噴流液柱内に導かれたレーザー光によるレーザー加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (7件):
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 宍戸 嘉一
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
, 渡邊 誠
, 鈴木 博子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-036507
公開番号(公開出願番号):特開2009-095884
出願日: 2008年02月18日
公開日(公表日): 2009年05月07日
要約:
【課題】レーザー光の伝搬効率を向上させて、安定した加工品質を確保する。【解決手段】ワークWに噴流液体を噴射するノズル3と、ノズル3に噴流液体を供給する液体供給手段6と、を有し、ノズル3から噴射された噴流液柱F内に導かれたレーザー光Lによるレーザー加工装置であって、噴流液体を層流状態でノズル3に供給する層流形成流路8を有し、層流形成流路8は、液体供給手段6から供給された噴流液体をノズルの軸線G周りに環状に分配する空洞が形成された分配流路81と、ノズルの軸線G方向下流側において分配流路81に連通して設けられ、分配流路81よりも狭い流路で軸線G周りに環状の空洞が形成された連絡流路82と、ノズルの軸線G方向上流側に隣接して設けられ、噴流液体を貯留してノズル3に供給する液体貯留室83と、を備え、液体貯留室83の外周縁部は、環形状の全周にわたって連絡流路82と連通されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レーザー光を発生するレーザー発振器と、ワークに噴流液体を噴射するノズルと、このノズルに前記噴流液体を供給する液体供給手段と、を有し、前記ノズルから噴射された噴流液柱内に導かれたレーザー光によるレーザー加工装置であって、
前記噴流液体を層流状態で前記ノズルに供給する層流形成流路を有し、
前記層流形成流路は、前記液体供給手段から供給された噴流液体を前記ノズルの軸線周りに環状に分配する空洞が形成された分配流路と、
前記ノズルの軸線方向下流側において前記分配流路に連通して設けられ、前記分配流路よりも狭い流路で前記軸線周りに環状の空洞が形成された連絡流路と、
前記ノズルの軸線方向上流側に隣接して設けられ、前記噴流液体を貯留して前記ノズルに供給する液体貯留室と、を備え、
前記液体貯留室の外周縁部は、前記環形状の全周にわたって前記連絡流路と連通されていること、を特徴とするレーザー加工装置。
IPC (3件):
B23K 26/06
, B23K 26/14
, B23K 26/08
FI (3件):
B23K26/06 A
, B23K26/14 Z
, B23K26/08 N
Fターム (8件):
4E068CA01
, 4E068CA05
, 4E068CD15
, 4E068CE07
, 4E068CH02
, 4E068CH08
, 4E068CJ01
, 4E068CJ08
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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