マイクロレンズアレイの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337166
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164904
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】本発明はマイクロレンズアレイの製造方法に関し、レンズの品質ばらつきを小さくすること及び製造の容易化を目的とする。【構成】透明基板12上にこれよりも低融点のレンズ母層26を形成するステップと、レンズ母層26をエッチングにより部分的に除去してレンズ要素30を形成するステップと、レンズ要素30を加熱して溶融させるステップと、これを冷却するステップとから構成する。

請求項（抜粋）：

透明基板(12)上に該透明基板の融点よりも低い融点を有するレンズ母層(26)を形成する第1のステップと、該レンズ母層のレンズとなるべき部分を除き該レンズ母層をエッチングにより除去してレンズ要素(30)を形成する第2のステップと、該レンズ要素を上記レンズ母層の融点よりも高く且つ上記透明基板の融点よりも低い温度に加熱して、上記レンズ要素(30)を溶融させる第3のステップと、上記透明基板(12)及び溶融した上記レンズ要素 (30′) を冷却する第4のステップとを含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。

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