特許
J-GLOBAL ID：200903055726547216
ウェーハ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205958
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055418
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハの表面に空気中の粒子が付着しウェーハが汚染されたりせず、あるいはウェーハが空気に触れて酸化されたりせず、あるいはウェーハの移動中にウェーハの表面温度が変化してしまい処理結果にばらつきが生じたりせず、あるいはウェーハの移動中に空気中の静電気がウェーハに帯電してしまうことを防止できるウェーハ搬送装置を提供する。【解決手段】 ウェーハ(1)に処理を施すための処理装置(2、3)の間を搬送するウェーハ搬送装置であって、ウェーハ(1)を保持するウェーハ保持部(11)と、このウェーハ保持部(11)と一体的に移動し、ウェーハ保持部(11)に保持されたウェーハ(1)の近傍に不活性ガスを吐出するガス吐出部(13)とを備えることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウェーハに処理を施すための処理装置の間を搬送するウェーハ搬送装置であって、ウェーハを保持するウェーハ保持部と、このウェーハ保持部と一体的に移動し、前記ウェーハ保持部に保持されたウェーハの近傍に不活性ガスを吐出するガス吐出部とを備えることを特徴とするウェーハ搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/00
, B65G 49/07
, H05F 3/00
H01L 21/68 A
, B25J 15/00 F
, B65G 49/07 E
, H05F 3/00
