フォトセンサシステム及びフォトセンサシステムに使用されるフォトセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-133224
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】フォトセンサの照射光の照度を正確に検出するフォトセンサシステム及びフォトセンサを提供することを目的としている。【構成】フォトセンサ1は、絶縁性基板2上にボトムゲート電極3が形成され、これらをボトムゲート絶縁膜4が覆っている。その上に半導体層5が形成され、半導体層5を挟んでソース電極6とドレイン電極7が形成されている。これらをトップゲート絶縁膜10が覆っており、その上にボトムゲート電極3と相対向する位置に小さく、かつ遮光性のトップゲート電極11が形成されている。トップゲート電極に-20[V]を印加してセンス状態とし、光を照射すると、キャリアが誘起されて、照度に応じた時間でフォトセンサ1の出力が反転する。センス状態に切り替わった時点から出力が反転するまでの時間を計測して階調信号に変換する。

請求項（抜粋）：

照射光の光量の大きさに対応した出力信号を出力するフォトセンサを備えたフォトセンサシステムにおいて、前記照射光の照射される所定の照射時間内に前記フォトセンサの出力信号が所定の値から別の所定の値まで変化する時間を計測する計測手段と、前記計測手段の計測した計測時間を前記照射光の光量に対応した出力信号として出力する出力手段と、を備えたことを特徴とするフォトセンサシステム。

IPC (3件)：

H04N 5/335 , H01L 27/146 , H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 C , H01L 31/10 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平4-158227

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