露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042822
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241993
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】露光処理を行うアライメントステージユニットを2個以上設けた場合に露光ユニットの光源を省略できるようにする。【解決手段】光源手段は露光用の光束を出力する。方向切換反射鏡手段は光源からの光束を反射するものであって、その反射方向を切り換えて反射する。第1の凹面鏡手段は方向切換反射鏡手段からの反射光束をほぼ平行光となるように反射する。第1の反射鏡手段は第1の凹面鏡手段からの反射光束を第1の露光面に反射する。第2の凹面鏡手段は方向切換反射鏡手段からの反射光束をほぼ平行光となるように反射する。第2の反射鏡手段は第2の凹面鏡手段からの反射光束を第2の露光面に反射する。1つの光源手段から出力される光束を方向切換反射鏡手段によって時間的に切り換えて、第1の凹面鏡手段及び第1の反射鏡手段を介して露光したり、第2の凹面鏡手段及び第2の反射鏡手段を介して露光したりする。これによって露光用の光源は1つでよくなり、光源を省略することができる。

請求項（抜粋）：

露光用の光束を出力する1つの光源手段と、前記光源からの光束を反射するものであって、その反射方向を切り換えて反射する方向切換反射鏡手段と、前記方向切換反射鏡手段からの反射光束をほぼ平行光となるように反射する第1の凹面鏡手段と、前記第1の凹面鏡手段からの反射光束を第1の露光面に反射する第1の反射鏡手段と、前記方向切換反射鏡手段からの反射光束をほぼ平行光となるように反射する第2の凹面鏡手段と、前記第2の凹面鏡手段からの反射光束を第2の露光面に反射する第2の反射鏡手段とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 9/00 Z , H01L 21/30 510

Fターム (10件)：

2H097CA03 , 2H097CA12 , 2H097DB07 , 2H097DB11 , 2H097LA12 , 5F046CA01 , 5F046CB03 , 5F046CD01 , 5F046CD04 , 5F046CD06

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-021649
特開昭63-021649

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