特許

J-GLOBAL ID：200903055735372372

IC試験装置

発明者： 西 隆二 ,  福崎 正
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-077371
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248097
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 装置内のケーブルを通過することのできないような高速パルスを出力するデバイスであってもその高速パルスに対応したテスティングレートのまま試験を行えるようにする。【構成】 被測定ICが通常のパルスデータを出力する場合には、モード選択手段はアナログコンパレータから出力されるデジタル信号をそのままケーブルを介して判定手段に供給する第1のモードとなる。被測定ICがパルス幅2ns程度の高速パルスデータを出力する場合には、モード選択手段は第2のモードとなる。この第2のモードでは、アナログコンパレータの複数組が1つのグループとなるように区分けされ、そのグループを構成するアナログコンパレータの中のいずれか1組だけが被測定ICの端子に接続される。そして、この1組のアナログコンパレータから出力される高速のデジタル信号はそのパルス幅の整数倍だけ位相の異なる複数のタイミング信号に応じて複数に分配され、それぞれのケーブルを介して判定手段に供給される。

請求項（抜粋）：

被測定ICの各端子から出力されるアナログ信号をそれぞれ第1及び第2の基準電圧と比較し、その比較結果を示すデジタル信号を出力する第1及び第2のアナログコンパレータの組を複数有するコンパレータ手段と、前記第1及び第2のアナログコンパレータから出力されるデジタル信号をそれぞれのケーブルを介して入力し、それを期待値データ及び判定タイミング信号に基づいて比較判定する判定手段と、この判定手段からの判定結果に基づいて前記被測定ICの電気的特性を検査する制御手段と、前記第1及び第2のアナログコンパレータから出力されるデジタル信号をそのまま前記ケーブルを介して前記判定手段に供給する第1のモードと、前記第1及び第2のアナログコンパレータの複数組を1つのグループとして、そのグループの中で前記被測定ICの端子に接続される1組の第1及び第2のアナログコンパレータから出力されるデジタル信号を所定のタイミング信号に応じて複数に分配し、分配されたデジタル信号を前記グループ内の第1及び第2のアナログコンパレータに対応する前記ケーブルを介してそれぞれ前記判定手段に供給する第2のモードとを選択するモード選択手段とを具えたIC試験装置。