特許
J-GLOBAL ID：200903055737076517
キャリヤ昇降方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151884
公開番号（公開出願番号）：特開平5-338731
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 基板を鉛直方向に一定のピッチで輪切り状に収納したキャリヤを間歇的に昇降するキャリヤ昇降方法に関し、特にキャリヤへの基板の収納作業とキャリヤからの基板の取り出し作業とをロボットで行なう際に、平面内で運動するアームを備えただけのロボットでも基板の収納とその取り出しとを行なえるキャリヤ昇降方法の提供を目的とする。【構成】 半導体ウェーハ11を鉛直方向に一定のピッチPaで収納したキャリヤ12を間歇的に昇降するキャリヤ昇降方法において、キャリヤ12の下降を、ピッチPaの略半分の第1の降下量Pbを間歇的に下降する第1の下降と、このピッチPaから第1の降下量Pbの差である第2の降下量Pa-Pb を間歇的に下降する第2の下降との繰り返しで行なうとともに、キャリヤ12の上昇を、ピッチPaの略半分の第1の上昇量Pcを間歇的に上昇する第1の上昇と、このピッチPaから第1の上昇量Pcの差である第2の上昇量Pa-Pc を間歇的に上昇する第2の上昇との繰り返しで行なうように構成する。
請求項（抜粋）：
基板(11)を鉛直方向に一定のピッチ(Pa)で輪切り状に収納したキャリヤ(12)を間歇的に昇降するキャリヤ昇降方法において、前記キャリヤ(12)の下降を、前記ピッチ(Pa)の略半分の第1の降下量(Pb)を間歇的に下降する第1の下降と、このピッチ(Pa)から前記第1の降下量(Pb)の差である第2の降下量(Pa-Pb) を間歇的に下降する第2の下降との繰り返しで行なうとともに、前記キャリヤ(12)の上昇を、前記ピッチ(Pa)の略半分の第1の上昇量(Pc)を間歇的に上昇する第1の上昇と、このピッチ(Pa)から前記第1の上昇量(Pc)の差である第2の上昇量(Pa-Pc) を間歇的に上昇する第2の上昇との繰り返しで行なうことを特徴とするキャリヤ昇降方法。
IPC (2件)：
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