特許
J-GLOBAL ID：200903055745642580
熱処理炉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤澤 一博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136331
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318270
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】焼結時にゲッタ材を有効に機能させて処理空間に導入する不活性ガスを浄化する。【解決手段】内箱2にゲッタ材Gを有するサンドシール部3を設け、脱脂・脱ガス時に処理空間S1に発生するガスをゲッタ材Gに接触させることなく内排気手段5を通じて直接炉1外に排出し、焼結時に炉内空間S2からサンドシール部3を通過させることによって不純物を除去した後の不活性ガスを処理空間S1に導入するようにしたので、脱脂・脱ガス時にゲッタ材Gの汚染を防いで焼結時における有効な機能を確保し、処理物Wの周辺を高純度のクリーンな雰囲気に保つことができる。
請求項（抜粋）：
炉内に配置されて内側に処理空間を閉成する内箱と、この内箱内の処理空間を外側の炉内空間に対して隔離する位置に形成されガスの通過を許容し得る程度の微小隙間を有してなるシール部と、前記炉内空間にガスを導入するガス導入系とを具備してなり、前記シール部の微小隙間にゲッタ材を配設したものにおいて、前記処理空間を直接炉外に排気する内排気手段を設けたことを特徴とする熱処理炉。
IPC (4件)：
F27B 5/08
, C21D 1/74
, F27D 1/00
, F27D 7/06
F27B 5/08
, C21D 1/74 L
, F27D 1/00 U
, F27D 7/06 B
