特許

J-GLOBAL ID：200903055747948776

高周波装置

発明者： 日高 晋太郎
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110252
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326543
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 負荷において放電が発生している場合にのみ正常なマッチング動作を行うようにした高周波装置を実現する。【構成】 マッチングボックス3の出力電圧は負荷7で放電が発生しているときと放電が停止しているときとでは相違する。この負荷7における放電発生時、第3の制御回路16はバイアス電圧の値に基づき、スイッチ17,18をオンする。その結果、コンデンサ4,5とは自動的に調整され、インピーダンスマッチングが最適に行われる。一方、負荷7において放電が停止すると、第3の制御回路16はバイアス電圧が零となるので、それに基づいてスイッチ17,18をオフする。その結果、可変コンデンサ4,5とは自動的に制御されなくなり、マニュアルでの制御のみが可能となる。この状態で各可変コンデンサをマニュアル調整し、負荷7で放電が開始されるようにする。負荷7で放電が開始すると、第3の制御回路16はスイッチ17,18をオンし、再び自動的なインピーダンスマッチング動作を行う。

請求項（抜粋）：

高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、マッチングボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器と、検出された入力インピーダンスと位相とに基づいてマッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサを自動的に調整するための自動調整手段と、マッチングボックスの出力電圧を検出する手段と、マッチングボックスの出力電圧を監視し、負荷における放電の発生を検出する検出手段と、検出手段からの信号に応じて、前記自動調整手段の動作を停止させる手段とを備えた高周波装置。

IPC (5件)：

H03H 7/40 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/40 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-113599
  
• 特開昭59-073900
  
• 特開平3-257823